現(xiàn)場(chǎng)安裝了高效過(guò)濾器后，泄漏檢測(cè)是為了確認(rèn)高效過(guò)濾器和配套的安裝靜壓箱，在規(guī)定的允許范圍內(nèi)未發(fā)現(xiàn)泄漏或痕量泄漏。如果高效過(guò)濾裝置在檢漏后合格，則可以確保潔凈室的安全可靠運(yùn)行。在這種情況下，室內(nèi)清潔度仍未達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)從無(wú)塵室的其他方面找出原因。

　　安裝后對(duì)高效過(guò)濾器的泄漏檢測(cè)與工廠中過(guò)濾器制造商的效率測(cè)試不同。后者僅測(cè)試過(guò)濾器的效率和其他相關(guān)性能，而前者涉及高效過(guò)濾器的泄漏以及與安裝過(guò)程相關(guān)的各種因素。

　　在檢漏期間，從高效過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)引入氣霧劑，同時(shí)，在高效過(guò)濾器的下風(fēng)側(cè)進(jìn)行掃描以進(jìn)行泄漏檢測(cè)，以泄漏高效過(guò)濾器介質(zhì)過(guò)濾器，密封劑過(guò)濾器框架，密封墊等。是否有泄漏。

　　在檢測(cè)中，如果室內(nèi)干擾因素過(guò)多，為了消除干擾，可以在出風(fēng)口出風(fēng)口增設(shè)一個(gè)隔離罩，并在罩內(nèi)進(jìn)行檢測(cè)，以使檢測(cè)數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確。 特別要注意的是，過(guò)濾器和安裝框架之間的泄漏檢測(cè)可以沿著安裝框架進(jìn)行，也可以在出風(fēng)箱的部分進(jìn)行泄漏檢測(cè)，但是應(yīng)消除夾帶氣流的干擾，并且應(yīng)該避免使用盒子。

　　灰塵堆積在上表面的干擾，特別是采樣端口不能接觸高效風(fēng)口盒或過(guò)濾器的框架。 在高效過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)進(jìn)行DOP泄漏檢測(cè)時(shí)，必須在高效過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)安裝DOP導(dǎo)入裝置和濃度檢測(cè)管。這兩個(gè)管也可用于檢測(cè)濾波器的電阻。

　　概論：

　　(1)高效過(guò)濾器安裝以后必須要進(jìn)行檢漏;

　　(2)要計(jì)算 DOP 的發(fā)塵量及系統(tǒng)風(fēng)量，確定DOP 導(dǎo)入地點(diǎn);

　　(3)要測(cè)量高效過(guò)濾器上游的粒子濃度;

　　(4)根據(jù)規(guī)范按 0.5μm 的粒徑來(lái)檢漏，需要確定正確的K值。如果采用不是0.5μm的粒徑來(lái)檢漏，建議可按 ISO14644-3 的標(biāo)準(zhǔn)來(lái)確定 K 值;

　　(5)采用 28.3 L/min 的粒子計(jì)數(shù)器來(lái)檢漏。如果采用 2.83 L/min 的粒子計(jì)數(shù)器，必須控制掃描速度。